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专利摘要显示,提供了沉积掩模和包括沉积掩模的沉积设备。沉积掩模包括:衬底,包括单元区域和除单元区域外的掩模框区域;以及掩模膜,设置在单元区域中的每一个中。掩模膜的截面结构包括其中无机层和金属层彼此交替堆叠的多层。
本文源自金融界
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