华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备”

景点排名 2025年08月20日 12:45 1 admin

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备”，专利申请号为CN202510732613.2，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆承载单元、后处理装置、翻转方法和处理设备，晶圆承载单元包括：承载托架，检测组件和调节组件；承载托架包括可翻转的主体，主体包括固定安装的上限位件、下限位件驱动器和活动安装的下限位件，用于在主体翻转过程中限位和承载晶圆，下限位件驱动器用于驱动下限位件靠近或远离主体的中心；检测组件用于在主体翻转至水平状态时，检测晶圆沿上限位件向下限位件方向的倾斜角度；调节组件包括调节驱动器和调节支撑元件，调节驱动器将调节支撑元件驱动至以倾斜角度支撑晶圆，并在下限位件驱动器驱动下限位件远离后，将调节支撑元件驱动至水平状态。本发明能将倾斜晶圆调平，且不会污染晶圆和损伤限位件。

今年以来华海清科新获得专利授权60个，较去年同期增加了140%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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