哈工大官方消息证明：已拥有国产高端光刻机！怪不得麒麟9010充足

AI科技 2025年11月06日 19:59 2 admin

这事儿得从2024年底说起。那时候，学校新闻网发文，说航天学院赵永蓬教授带队搞的放电等离子体极紫外光刻光源项目，拿下了黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛的一等奖。别小看这个奖，它不是随便发发的，背后是实实在在的技术积累。

光源这东西，在光刻机里头就跟心脏一样关键，没有靠谱的光源，整个机器就转不起来。哈工大这个项目，用的放电等离子体方式，产生中心波长13.5纳米的极紫外光，这波长正好是高端光刻需要的，能帮着把芯片做得更细更密。学校自己说，这技术能量转换效率高，成本低，体积小，技术门槛也没那么高，适合咱们国内的实际情况。想想看，以前这类核心部件全靠国外，现在本土团队整出来了，这不就是证明咱们在高端光刻机上迈出关键一步吗？

早从2008年左右哈工大就开始琢磨等离子体技术在光刻上的应用。赵永蓬教授负责统筹，团队分成几组，一组管等离子体生成，一组管控制和稳定性。起步时，他们先搭了个小装置，测波长输出，数据不对劲就调参数，反复试。2010年后，借着核聚变研究的思路，引入等离子体约束技巧，专门对付碎片干扰的问题。实验数据一出来，效率就上去了。

到了2015年，初步原型出来了，波长锁在13.5纳米，但输出还不稳。团队不慌，分析每次失败，换电极材料，防过热。2018年，项目优化阶段，把体积压小，便于以后塞进机器里。成本也盯紧了，用本土材料顶替进口的，耐久测试一遍遍跑。2020年疫情来了，进度慢了点，但他们靠线上协作分析数据。2021年回实验室，继续长时运行测试，输出逐步稳住。2022年，拉上国内其他机构，共享平台，模拟光刻环境测表现。数据过关，能撑7纳米级需求。

2023年，参数调到工业标准。2024上半年，集成测试，把光源接模拟系统，看曝光效果。波动问题出来了，用软件算法修。年中过省级评估，年底12月29日，官网发消息，项目获奖。整个过程，实验日志堆了上百份，失败上百次，每次改性能就升一级。材料从本土供应链拿，成本降了至少三成。公布后，行业里议论开了，说这对光刻机自主化帮了大忙。数据部分公开，效率达标。团队2025年初就跟企业聊合作，准备线上测试。这一路近17年，从理论到实物，填了技术空档。

说起为什么这个光源这么重要，得聊聊光刻机的原理。光刻机就是用光在硅片上画图案，波长越短，图案越细。国际上主流的极紫外光刻机，用激光产生的等离子体，但专利卡得死死的，咱们买不到。哈工大走放电路径，不撞专利，还低成本。光源输出稳定，碎片少，磁场辅助控制，锡滴触发产生光。真空泵和过滤器收碎片，防污染。光谱仪测功率，电压实时调。体积小，好集成。公布消息后，学校内部开会分享，团队继续验证数据。这事儿不光是技术，还牵扯供应链，本土材料用上，依赖少。行业专家说，这推动中芯国际这类企业优化线。半导体制造，本来卡在光源上，现在有本土选项，产能就能跟上。

这项技术跟华为麒麟9010处理器生产直接挂钩。麒麟9010用国产7纳米制程，中芯国际代工。从2024年起，供应量就上来了，到6月产出800万片。芯片拆解看，Die上本土对准标识，没ASML痕迹。性能追苹果M3，IPC强。产量从月几万片跳到百万片，用在手机和PC上。

这项进展搅动了半导体格局。到2025年9月，华为在中芯试产自家DUV光刻机，从麒麟9010迭代版起步。赵永蓬团队推光源功率更高。中芯产能扩，芯片出口多。本土光刻自主率升，企业合作密。行业依赖降，格局调。

哈工大这个光源项目，实打实帮着国产高端光刻机落地。以前总说卡脖子，现在光源出来了，机器组装就近了。麒麟9010为什么供货足？就因为生产链本土化，少靠外。2024年，中芯用老DUV机台，多图案化搞7nm，良率虽低，但产量上。哈工大光源虽是EUV路子，但思路能借到DUV优化。团队从等离子体控制入手，碎片处理经验，帮中芯稳线。2025年，试产DUV机，华为领头，用麒麟9010测试。出口量增，本土率高。整个事儿，证明技术积累管用，不用总盯着国外。