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2025-08-05 0
ASML取得确定衬底结构特性量测系统和方法专利
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2025年08月05日 13:08 0
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金融界2025年8月5日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司取得一项名为“用于确定衬底上的一个或更多个结构的特性的量测系统和方法”的专利，授权公告号CN114993205B，申请日期为2018年09月。
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