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2025-09-29 0
据德国媒体《德国之声》发布的新闻报告指出:
想要制造先进芯片,离不开ASML的光刻机,而后者的核心元器件则是由德国蔡司制造的高精度镜组。这对于千方百计想要遏制中国芯片发展的美国来说,能否通过对德国蔡司进行施压,切断其给中国企业提供镜头的机会,以此来达到制裁中国的目的?
据德国蔡司半导体部门发布的官方新闻表示:
ASML首发了搭载蔡司光学器件的浸润式DUV光刻机,凭借着该技术,ASML与蔡司打败了日本的尼康和佳能,成为了光刻机领域的老大,延续了摩尔定律。
现阶段的芯片产品,不管是汽车、手机、家电、工业设备,均需要相应的芯片作为驱动基础。芯片制造需要用到ASML的DUV光刻机,先进芯片的制造需要EUV光刻机。不管是哪一种设备,其光刻机的镜头组件均由德国蔡司半导体部门独家供应。
蔡司的首席技术官托马斯·斯塔姆勒曾公开表示:
全球大约80%的芯片是使用了蔡司光学器件制造出来的产品,蔡司镜头已经成为了芯片制造业不可分割的一环。
如果将蔡司制造的光刻机镜组等比例放大到德国国土面积那么大的尺寸,那么其平整度可以保持在0.1毫米之内。蔡司与ASML一起开发出了人类迄今为止最精密的设备,这是其他企业无法完成的项目。
EUV光刻机是目前最先进的设备,也是大量制造先进芯片的核心设备。EUV光刻技术从研发开始算起,距今已经有超过20年的时间。
据蔡司半导体制造光学副总裁Frank Rohmund透露,蔡司已经拿下了超过1500项跟EUV有关的技术专利,其他企业想要绕过蔡司的专利去制造EUV光刻机的镜组,目前来看希望渺茫。就算侥幸在某些技术环节绕过了蔡司的专利,也无法达到蔡司产品的技术水平,更不要说制造芯片了。
除反射镜组之外,还需要照明系统与投影光学器件进行搭配,整个一套设备的连锁反应需要在无尘室内进行应用,蔡司为其单独制造了一个高洁净的工厂。
在普通室内的空气中,每立方米大约有1亿个常见的灰尘颗粒,而蔡司的工厂则是将这个灰尘数量大幅度减少到3500个左右,并且生产工厂内部还配备空气过滤装置和抽气装置,每隔一段时间对室内进行净化。
在蔡司半导体部门,有7500名以上的员工,这些员工当中有大约1500人被分配到了最新的High NA-EUV光刻机的研发,剩下的员工负责DUV光刻机和第一代EUV的制造。
蔡司和ASML的背后是美国资本、德国政府、欧盟等多个势力的资助,其供应链涵盖了超过1200家来自于全球的各地的供应商,全球化体系是光刻机产业和芯片产业的核心发展模式。
据蔡司半导体部门前CEO Andreas Dorsel表示:
蔡司聘请了大量开发人员和研究人员,包括精密仪器的配镜师、机械工程师、机电一体化工程师等各类顶级的人员。
这些人员来自于全球各地,与蔡司深度绑定,许多人甚至一开始就在蔡司工作,从来没有跳槽。蔡司既可以带给他们创造研发顶级设备的机会,让他们为人类发展实现价值,又可以带给他们丰厚的待遇,这是蔡司的文化体系,其他企业学不来。
将核心内容总结起来,反射镜组和配套的技术系统相结合,实现光刻机的整个曝光流程。光刻机的镜头由德国蔡司独家供应,并且蔡司已经申请了大量EUV设备的技术专利,在知识产权方面获得了先发优势。而且光刻机是全球化的产物,是建立在获得国际范围内顶级资源的前提下。
美国对中国企业的制裁,让中国企业被迫与全球化模式分割,走上独立自主的国产化模式,精密元器件的制造,是我们必须要面对的问题。
根据国家发改委主管的《中国战略新兴产业》杂志表示:
中国的光学器件早在20世纪50年代就已经有了初步的情况,天津照相机厂在这个时期制造了第一台国产的照相机,但是该产品是以徕卡IIIc型为蓝本,仿制了部分零件制造出来的模仿物。虽然是模仿,但也让中国的镜头产业有了初步的经验。
20世纪90年代,我国中科院长春光机所就开始研发EUV成像技术。2002年,长春光机所研制了第一台EUV的原理装置,将EUV技术的整体理论融会贯通。
欧菲光、舜宇光学等国产光学镜头厂商,也对精密镜头产品开始了猛攻。欧菲光已经凭借着手机镜头开始大规模应用,而舜宇光学已经在手机镜头、显微镜技术、医疗设备等多个领域推出了自主制造的镜头产品,这与蔡司当年的发展路线如出一辙。
参考资料:从仿制到自研:百年镜片钻研史|界面新闻 · JMedia
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