光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。现代光刻机根据光源可分为紫外光刻机、深紫外光刻机...
2025-09-17 0
光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。
现代光刻机根据光源可分为紫外光刻机、深紫外光刻机和极紫外光刻机;根据曝光方式可分为接触式光刻机、接近式光刻机和直写式光刻机,目前主流的是投影式光刻机,极紫外光刻机就属于此类。
光刻机产业链各环节价值量拆解
光源系统:价值量约占光刻机总成本的20%。光源系统需稳定产生193nm(DUV)或13.5nm(EUV)极紫外光,技术壁垒极高。
光学系统:是光刻机中价值量较高的环节,约占总成本的30%。其关键指标是物镜组镜面平整度≤0.1nm。
工作台:价值量占比约为15%。工作台需实现纳米级运动控制,对套刻精度要求极高,影响光刻机的生产效率和芯片制造良率。
光刻胶:通常占光刻机产业链价值量的5%左右。光刻胶是芯片的“隐形模具”,高端ArF光刻胶保质期仅6个月。
光刻机产业链企业成长能力
企业成长能力是随着市场环境的变化,企业资产规模、盈利能力、市场占有率持续增长的能力,反映了企业未来的发展前景。
本文为企业价值系列之【成长能力】篇,共选取31家光刻机产业链企业作为研究样本,并以营收复合增长、扣非净利复合增长、经营净现金流复合增长等为评价指标。
数据基于历史,不代表未来趋势;仅供静态分析,不构成投资建议。
第10 英诺激光
产业细分:激光设备
成长能力:营收复合增长21.41%,扣非净利复合增长169.04%,经营净现金流复合增长为负
业绩预测:净利润最新预测均值0.49亿元,预测增速均值122.38%
主营产品:激光器为最主要利润来源,利润占比76.58%,毛利率49.97%
公司亮点:由英诺激光牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化“项目启动会在深圳成功召开。
第9 茂莱光学
产业细分:光学元件
成长能力:营收复合增长9.78%,扣非净利复合增长-13.23%,经营净现金流复合增长-82.89%
业绩预测:净利润最新预测均值0.65亿元,预测增速均值82.6%
主营产品:光学器件为最主要利润来源,利润占比40.55%,毛利率44.08%
公司亮点:茂莱光学基于核心技术生产的光刻机曝光物镜用光学器件最大口径可达直径300mm,突破常规透镜尺寸和精度的指标要求。
第8 美埃科技
产业细分:环保设备
成长能力:营收复合增长14.45%,扣非净利复合增长17.48%,经营净现金流复合增长为负
业绩预测:净利润最新预测均值2.68亿元,预测增速均值39.81%
主营产品:风机过滤单元及过滤器产品为最主要利润来源,利润占比89.94%,毛利率30.26%
公司亮点:美埃科技主营业务是空气净化产品、大气环境治理产品。公司可提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及ULPA(超高效过滤器)等产品。
第7 奥普光电
产业细分:军工电子
成长能力:营收复合增长-3.62%,扣非净利复合增长-32.00%,经营净现金流复合增长为负
业绩预测:净利润最新预测均值1.22亿元,预测增速均值83.68%
主营产品:复合材料为最主要利润来源,利润占比50.51%,毛利率44.02%
公司亮点:奥普光电生产的Caf2光学晶体应用范围较广,客户可根据实际需求进行二次开发,产品可以用于光刻机的光学系统中。
第6 清溢光电
产业细分:半导体材料
成长能力:营收复合增长20.35%,扣非净利复合增长35.61%,经营净现金流复合增长57.19%
业绩预测:净利润最新预测均值2.46亿元,预测增速均值43.01%
主营产品:石英掩膜版为最主要利润来源,利润占比87.48%,毛利率28.40%
公司亮点:清溢光电是国内成立早、规模大的掩膜版生产企业之一。公司产品主要应用于平板显示、半导体芯片、触控、电路板等行业。
第5 晶方科技
产业细分:集成电路封测
成长能力:营收复合增长23.72%,扣非净利复合增长86.74%,经营净现金流复合增长16.33%
业绩预测:净利润最新预测均值4.00亿元,预测增速均值58.12%
主营产品:芯片封装及测试为最主要利润来源,利润占比74.92%,毛利率44.83%
公司亮点:晶方科技主营业务是传感器领域的封装测试业务。控股子公司光学器件产品主要应用于光刻机半导体设备、工业自动化等应用领域。
第4 腾景科技
产业细分:光学元件
成长能力:营收复合增长30.96%,扣非净利复合增长82.20%,经营净现金流复合增长4.04%
业绩预测:净利润最新预测均值1.01亿元,预测增速均值46.29%
主营产品:精密光学元组件为最主要利润来源,利润占比80.80%,毛利率38.07%
公司亮点:腾景科技主要产品是精密光学元组件、光纤器件及光测试仪器。公司正在进行应用于光刻机光学系统的合分束器项目研发。
第3 路维光电
产业细分:半导体材料
成长能力:营收复合增长30.21%,扣非净利复合增长39.56%,经营净现金流复合增长60.15%
业绩预测:净利润最新预测均值2.61亿元,预测增速均值36.49%
主营产品:石英掩膜版为最主要利润来源,利润占比90.60%,毛利率34.18%
公司亮点:路维光电主营业务是掩膜版的研发、生产和销售。公司主要产品是石英掩膜版、苏打掩膜版。
第2 芯碁微装
产业细分:其他专用设备
成长能力:营收复合增长15.09%,扣非净利复合增长-5.91%,经营净现金流复合增长为负
业绩预测:净利润最新预测均值2.97亿元,预测增速均值84.6%
主营产品:专用设备制造行业为最主要利润来源,利润占比98.73%,毛利率36.75%
公司亮点:芯碁微装主营业务是以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备。公司主要产品是PCB直接成像设备、泛半导体直设备。
第1 同飞股份
产业细分:制冷空调设备
成长能力:营收复合增长17.07%,扣非净利复合增长-14.07%,经营净现金流复合增长256.78%
业绩预测:净利润最新预测均值2.88亿元,预测增速均值87.98%
主营产品:液体恒温设备为最主要利润来源,利润占比65.29%,毛利率21.22%
公司亮点:同飞股份主营业务是工业温控设备。液体恒温设备主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
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