首台光刻机成功搬入！重庆首个8英寸MEMS特色芯片IDM全产业链项目迎重大进展！

AI科技 2025年07月16日 20:12 0 admin

集成电路被誉为“工业粮食”，是国家战略性、基础性和先导性产业，也是重庆市重点发展的战略性新兴产业，在全市产业布局中占据关键地位。

7月14日11时38分，随着重庆奥松半导体特色芯片产业基地（下称“奥松半导体项目”）启动杆被按下，吊车缓缓升起，一台包裹着防尘罩的8英寸生产线首台光刻机设备，在众人关切注视的目光中平稳进场。

这标志着该项目全面进入设备安装调试的快车道，也为其顺利达成既定目标奠定了坚实基础——今年8月底通线试产，第四季度实现产能爬坡并交付客户，对重庆乃至整个集成电路行业都具有深远意义，将实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接。

核心设备落位

全产业链项目通线量产指日可待

近年来，重庆以功率半导体和传感器芯片为突破口，充分发挥汽车、电子信息等产业优势，通过政策引导和重大项目布局，正积极布局集成电路产业，努力打造全国乃至全球具有影响力的集成电路产业新高地。

奥松半导体项目是重庆半导体产业生态的重要一环，打造的重庆首个8英寸MEMS特色芯片全产业链项目，对重庆集成电路产业发展具有重要意义。

首台光刻机成功搬入！重庆首个8英寸MEMS特色芯片IDM全产业链项目迎重大进展！

▲运载光刻机各部件的货柜车进入厂区。受访单位供图

当天上午，记者在奥松半导体项目现场看到，承载着光刻机的吊机缓缓升起，将设备运入厂房，完成了该项目的重要历史时刻。

“首台光刻机成功搬入，标志着我们产线正式进入设备安装调试阶段，离正式通线试产并量产指日可待。”奥松半导体项目负责人李忠告诉记者，光刻机是整个芯片制造过程中最关键的核心设备。光刻的基本原理一直没有变，就是用光把芯片蓝图缩小，投影到硅片上，跟表面化学物质发生反应完成刻蚀。这类似于照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

▲光刻机各主要部件陆续进入洁净厂房。谢春良摄

据透露，今年奥松半导体项目围绕“7月光刻机进场、8月底通线试产、第四季度产能爬坡并陆续交付客户”的阶段性目标，同步推进竣工验收、产能通线、工厂运营、良率提升和产品交付等工作，目前公司为项目顺利通线投产已储备和投用了两百余名员工。同时将持续加大新产品、新技术研发投入力度，进一步拓展客户和市场。

建设提速显“芯”力

赋能区域高质量发展新态势

奥松半导体项目计划总投资35亿，包含8英寸特色传感器芯片量产线、8英寸MEMS特色晶圆快速研发线、智能传感器创新研发中心、车规级传感器可靠性检测中心、产学研科研中心及奥松半导体研发办公大楼等，技术能力覆各类MEMS特色工艺，可实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接。

项目自2024年取得施工许可证，随后便开启了高效的建设进程：到2025年4月所有建筑主体封顶。而在封顶之后，仅仅过了3个多月，生产线中最核心的装备——光刻机便成功入驻，项目也随之步入设备安装调试阶段。

▲光刻机进入百级洁净黄光区厂房。受访单位供图

李忠告诉记者，接下来几天将陆续搬入用于晶圆制造、封装测试、模块生产、系统应用等各类工艺和辅助设备，全部设备计划于月底前搬入完成，第2台光刻机也将于8月搬入。待一期项目达产后，将形成每月10000~20000片晶圆的产能。

不仅如此，在产学研合作方面，奥松半导体今年以来也动作频频：与重庆科技大学签署战略合作协议，与重庆大学正式签署共建嘉陵江实验室协议等，涉及人才培养、科研合作、成果转化等内容。这一系列快速推进的成果，充分展现了“科学城速度”，更为重庆集成电路产业成形起势注入了强劲的“芯”动力，为区域发展提供了有力支撑。

科学城有关负责人表示，作为全市集成电路产业主要集聚地，科学城肩负着承接国家集成电路重大生产力布局的使命任务，目前正着力补齐设计、封测模组等集成电路产业链“两端”短板，全力推动集成电路产业发展跑出加速度。

例如，前段时间发布的《重庆高新区促进集成电路产业高质量发展的若干措施》，针对集成电路设计端和封测模组端“两端”企业的研发、融资、产业链协同、企业做大做强等关键环节，给予重点支持奖励300万元-5000万元不等，力度已达到西部最优。

可见，在区域经济带动下，重庆正逐渐构建起更加完善、自主可控的集成电路产业体系，带动电子信息、智能制造等上下游产业协同发展，让集成电路产业成为重庆经济高质量发展的新引擎，为构建新发展格局贡献“重庆力量”。