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专利摘要显示,提供一种能够抑制在移动时基板的镜面状的主表面与系统构成零件接触而发生损伤的基板移动系统。一种基板移动系统,具有:系统构成零件;移动部,将基板相对于前述系统构成零件移动;摄像部,拍摄被前述移动部移动时的在前述基板的镜面状的主表面上映现的前述系统构成零件的镜像和前述系统构成零件的实像;以及判定部,基于由前述摄像部拍摄的前述镜像及前述实像进行对前述基板的前述主表面和前述系统构成零件的余隙判定异常的有无的异常判定。
本文源自金融界
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