光刻机？全套图纸给你能做？长春光机所公开5项技术，西方又酸了

AI科技 2025年11月07日 20:04 2 aa

芯片是现代工业的命根子，美国从1958年搞出第一块集成电路开始，就一直占着上风。中国起步不算晚，1965年就整出自己的芯片，只比美国晚几年。可惜那时候国际上封锁技术，中国自己生态没建好，差距就拉大了。到2014年，中国每年进口芯片花的钱超2000亿美元，2015到2017年连续三年比石油进口还多。芯片产业链长着呢，从指令集到设计软件，再到制造设备、代工和封装，中国在中低端有点优势，但高端环节基本靠进口，尤其是光刻机这种核心玩意儿。

光刻机干啥的？就是在晶圆上刻图案的设备，高端的用极紫外光，能搞7纳米以下的芯片。荷兰的ASML公司几乎垄断了这块市场，他们的机器一台卖好几亿美元，一年产量就那么点，先紧着英特尔、三星、台积电这些大客户。中国想买？门都没有。从2018年起，美国就开始管制出口，2019年直接禁了ASML卖极紫外光刻机给中国。荷兰政府跟着走，2023年还撤了不少许可证，ASML干脆停了对中国部分客户的发货。这下中国企业傻眼了，华为手机芯片供应链直接断了，中芯国际这些厂子只能用老设备凑合。

ASML的老板彼得·温宁克2019年在采访里放话说，就算把全套图纸给中国，中国也造不出高端光刻机。因为这玩意儿靠全球供应链，上千家供应商凑齐光学零件、激光系统和精密机械。中国缺零部件，供应链不全，单靠图纸没用。这话听着刺耳，但也戳中了中国芯片的痛点。美国拉着韩国、日本搞联盟，欧盟2021年出计划想把全球产能从8%拉到2030年的20%。中国市场占全球芯片需求六成多，可设备囤仓库也不卖给中国。2022年ASML说没许可就不能发货，2023年美国更新管制，覆盖更多机型，中国先进晶圆厂受重创。

彼得·温宁克2021年在股东会上承认，封锁会逼中国自己搞研发。2023年他又说完全隔离中国是没戏的，会逼中国加速创新。中国没闲着，长春光学精密机械与物理研究所从2002年就开始弄极紫外光刻的原理装置。2008年国家启动大专项，他们负责关键技术。2015年搞定高精度弧形反射镜，多层镀膜误差控制在0.1纳米，达国际水准。2017年7月专项验收通过，光学和光源都验证过了。这些年他们积累实验数据，优化模拟，逐步攻关。

封锁没停，美国2024年继续施压，荷兰撤更多许可证。ASML2024年报告显示，对华销售受限，库存堆着，财务压力大。公司开始游说荷兰政府，放宽点出口。彼得·温宁克2024年说贸易战是意识形态闹的，不是事实。中国芯片进口依赖没变，但自研速度上来了。2025年ASML申请卖深紫外光刻机给中国，批了五台。可中国市场对他们收入贡献15%，禁令让他们亏本。中国企业转二手设备或替代方案，效率低，但没辙。

芯片全球产能主要在美国、欧盟、韩国、日本和中国，占93%。欧洲从2000年的24%掉到8%，美国主导联盟，中国被迫国产化。封锁细节多，光刻机需要真空环境、多层镜子和激光等离子体，这些靠国际合作。中国采购卡住，就内部挖潜力。2025年美国还压，荷兰撤许可证，ASML老板承认早期判断错了，中国创新快超预期。这过程暴露技术封锁的复杂，中国芯片在压力下转轨。

长春光机所2023年9月公布五项极紫外光刻技术，已进省级科技奖提名阶段。这些技术包括激光等离子体光源，提高能量转换效率；多层反射镜光学系统，确保光束传输准；真空防污染技术，减粒子干扰；精密对准系统和曝光控制，精度纳米级。公布意味着从实验室到实用转，解决制造卡点。上海微电子推深紫外，但极紫外这块长春光机所出力大。这些基于多年实验和模拟，推芯片自给。

公布后，西方媒体热闹了。2023年美国智库说中国光刻进展滞后，至少落后20年。2024年有报道称中国逆向工程ASML的深紫外机，失败后求技术支持。2025年3月中国电子巨头华为测试极紫外元件，西方媒体说这是地缘突破，但还需建完整生态。2025年4月前ASML科学家林楠领队，中国建极紫外光源平台，破解生产障碍。西方评论说这超预期，国家支持扭曲竞争。

ASML立场变了。2021年起彼得·温宁克说封锁加速中国自研。2022年强调中国市场不能丢，占全球半导体需求六成。2024年公司报告，对华销售掉到总收入20%，从前几年近一半降下来。2025年第三季度净销售75亿欧元，订单超预期，但中国需求2026年还会低。财务头说他们有库存，应付中国稀土管制。2025年10月中国研究者称先进光刻突破，自给率升。西方媒体酸，说中国靠逆向，建不了全链。