国产替代加速期！光刻机产业链15只核心标的，从整机到部件全覆盖

十大品牌 2025年09月18日 01:42 0 aa

来源：市场资讯

（来源：淘金ETF）

1. 张江高科（600895.SH）

作为上海微电子第一大股东（持股10.78%），是国内唯一光刻机整机研发的核心资本载体，主导产业链生态整合。上海微电子28nm浸没式光刻机预计2025年交付超10台，产能利用率超90%，公司深度绑定这一核心技术平台，直接受益于整机量产进程。同时，依托国家大基金三期重点扶持政策，其股权投资价值随技术突破持续释放，中央汇金的重仓持仓更凸显机构认可度。在国产光刻机从技术突破向产业化落地的关键阶段，公司成为产业链整合与价值传导的核心枢纽。

2. 奥普光电（002338.SZ）

背靠中科院长春光机所，是光刻机光学系统研发的“国家队”平台，承担国家02专项光刻机物镜系统研发任务。其自主研发的纳米级光刻机工作台国内市占率超60%，为上海微电子提供的纳米级干涉仪定位精度达纳米级，还深度参与EUV光学系统研发。随着国产光刻机国产化率向30%跨越，公司作为核心光学部件供应商，直接承接技术突破带来的增量需求。政策层面，光刻机列入《首台套重大技术装备目录》，公司获专项资金支持，技术转化与商业化进程持续加速。

3. 茂莱光学（688502.SH）

国内超精密光学元件绝对龙头，产品覆盖DUV/EUV光学模组，可提供光刻机物镜系统的透镜、棱镜等核心部件，技术精度达纳米级，部分产品已通过ASML认证。作为芯上微装等国产设备厂商的光学模组核心供应商，其精密测量模块已稳定进入国产光刻设备供应链。业绩层面，2024年半导体业务收入同比增50%，毛利率超60%，2025年国内晶圆厂扩产潮下，光学组件需求激增，公司订单弹性十足。在光学系统这一光刻机核心壁垒环节，公司具备不可替代的国产龙头地位。

4. 福晶科技（002222.SZ）

全球激光晶体领域绝对龙头，是光刻机光源核心材料LBO、BBO晶体的唯一国产供应商，占据全球80%的市场份额。光源系统作为光刻机的“心脏”，其性能直接决定光刻精度，而激光晶体是光源设备的核心元器件。随着国内DUV光刻机量产规模扩大，以及EUV光源技术研发推进（哈工大DPP路线EUV光源已实现120瓦实用化），对高性能激光晶体的需求持续攀升。公司凭借技术垄断优势，深度绑定全球及国内光源设备厂商，在国产替代进程中处于“卖铲人”的稀缺赛道。

5. 波长光电（301421.SZ）

国内DUV光刻机投影物镜量产龙头，110nm分辨率物镜已稳定用于上海微电子产线，EUV级物镜进入中试阶段。作为光刻机准分子激光器光学元件的主力供应商，其高精度光学滤光片、分光镜产品直接服务于光刻核心环节。2025年Q2公司新增光刻机镜头订单同比增220%，在模拟芯片制造扩产潮与国产设备技术突破的双重驱动下，订单放量确定性极高。在光学器件这一细分领域，公司已形成从研发到量产的完整能力，深度契合产业链国产化需求。

6. 赛微电子（300456.SZ）

在光刻机物镜技术领域实现关键突破，其MEMS镜片成功打入ASML供应链，是国产光刻镜头核心供应商之一。MEMS技术在光刻机精密控制环节应用广泛，公司凭借在该领域的技术积累，可提供高可靠性的核心部件。随着上海微电子28nm光刻机国产化率提升至90%，公司作为核心零部件配套企业，承接的订单规模持续扩大。同时，公司积极布局EUV相关部件研发，在MEMS与半导体设备协同发展的战略下，有望充分受益于技术迭代带来的价值重估。

7. 蓝英装备（300293.SZ）

光刻机晶圆清洗设备国产替代唯一龙头，其瑞士子公司为ASML提供EUV清洗设备，精度达0.1um以下，技术水平全球领先。清洗环节是光刻工艺中不可或缺的前置步骤，直接影响光刻良率。作为中芯国际、长江存储等晶圆厂的核心清洗设备供应商，公司半导体设备业务占比持续提升，技术协同效应显著。2025年国内光刻机量产带动晶圆厂扩产，清洗设备作为配套刚需，公司订单有望实现爆发式增长，成为国产替代中的确定性标的。

8. 美埃科技（688376.SH）

国内光刻环节洁净系统龙头，是中芯国际、长江存储光刻环节洁净系统的主供应商，其设备可实现颗粒物控制

9. 新莱应材（300260.SZ）

高端真空与气体管路系统领军企业，产品用于光刻机真空腔体和气体传输，成功解决光刻机气路污染的“卡脖子”问题，已稳定进入中芯国际、长江存储供应链。2025年3月公司公告显示，光刻机相关订单同比增120%，主要受益于上海微电子28nm光刻机测试推进及2027年量产预期。在半导体设备国产化浪潮下，公司超高纯气体传输系统成为国产光刻机整机配套的核心环节，社保基金的增持动作也印证了其长期投资价值。

10. 富创精密（688409.SH）

经ASML认证的光刻机反应腔精密金属件全球供应商，专注于半导体设备精密结构件研发制造，客户涵盖ASML、AMAT等全球设备巨头。精密金属结构件是光刻机整机的“骨架”，对加工精度与材料稳定性要求极高。随着国内光刻机国产化率从2.5%向30%跨越，以及全球设备厂商扩产，公司作为核心结构件供应商，订单具备全球与国内双重增长驱动。2025年半导体设备行业高景气度下，公司产能释放与毛利率提升形成共振，成长空间广阔。

11. 同飞股份（300990.SZ）

光刻机激光器温控设备唯一国产供应商，热管理技术达到国际先进水平，可满足光刻机运行过程中对温度的精准控制需求（温差控制在±0.1℃内）。温控系统直接影响光刻机光源稳定性与光刻精度，是不可或缺的核心配套设备。随着国内DUV光刻机量产及EUV研发推进，对高性能温控设备的需求持续增加。公司凭借技术唯一性，深度绑定国内设备厂商，在国产替代进程中具备排他性优势，业绩增长确定性强。

12. 江丰电子（300666.SZ）

国内靶材领域龙头企业，产品广泛应用于光刻、刻蚀环节，打破国外垄断，客户包括台积电、中芯国际等全球晶圆制造巨头。光刻环节对靶材的纯度与均匀性要求极高，公司通过多年技术积累，已实现高端靶材国产化。2025年上半年公司净利润预增53.2%-65.7%，营收增29%，直接受益于中芯国际7nm量产及成熟制程扩产带来的靶材需求。在“设备-材料”协同国产化的趋势下，公司作为光刻配套材料龙头，将持续承接国产替代红利。

13. 海立股份（600619.SH）

为上海微电子封装光刻机提供核心冷却系统，2025年上半年净利润预增625%-756%，主要得益于光刻机冷却系统新业务的显著放量。冷却系统是保障光刻机长时间稳定运行的关键，尤其是在高功率光刻过程中，需快速带走设备产生的热量。公司凭借在制冷领域的技术积累，成功切入光刻机配套赛道，成为上海微电子的核心供应商。随着国产光刻机交付量提升（芯上微装半年交付500台），公司冷却系统业务将进入高速增长期，业绩弹性显著。

14. 华亚智能（003043.SZ）

半导体设备框架核心制造商，专注于精密金属结构件生产，客户包括AMAT等全球半导体设备巨头，其产品可用于光刻机外围框架及支撑结构。公司具备高精度加工能力，可满足半导体设备对结构件的严苛要求。2025年全球半导体设备市场规模持续扩大，叠加国内光刻机产业链国产化加速，公司既受益于全球巨头的订单外溢，又承接国内设备厂商的增量需求。在精密制造领域，公司凭借客户壁垒与技术优势，有望实现持续稳健增长。

15. 晶方科技（603005.SH）

先进封装领域龙头企业，其晶圆级封装技术与光刻机下游应用深度绑定，为光刻后的芯片提供高性价比的封装解决方案。随着中芯国际7nm量产及Chiplet技术普及，先进封装需求激增，进而带动上游光刻设备及材料需求。公司与国内晶圆厂及设计公司深度合作，在国产芯片制造产业链中处于关键枢纽位置。2025年半导体先进封装市场规模预计增长30%，公司凭借技术优势，将间接受益于光刻机国产化带来的下游应用扩容，业绩增长具备较强协同性。