南京芯干线申请屏蔽栅功率器件制备方法及器件专利，采用简单且低成本方法制备栅极和源极交叠面积小的屏蔽栅功率器件

抖音热门 2025年11月11日 18:25 8 aa

金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，南京芯干线科技有限公司申请一项名为“一种屏蔽栅功率器件的制备方法及屏蔽栅功率器件”的专利，公开号CN120417419A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明属于半导体器件制备技术领域，涉及一种屏蔽栅功率器件的制备方法及屏蔽栅功率器件，在外延片上形成MESA区，在相邻两个MESA区之间的第一沟槽内形成源极氧化层、源极多晶硅层以及第二沟槽，源极多晶硅层的上表面低于MESA区的上表面，且高于源极氧化层上表面的最高点；源极氧化层与外延片的接触界面高于源极氧化层与源极多晶硅层的接触界面；对源极多晶硅层进行氧化以在第二沟槽底部生成隔离氧化层，隔离氧化层的上表面最高点低于源极氧化层上表面最高点；在第二沟槽内形成栅极氧化层和栅极多晶硅层，在MESA区内形成屏蔽栅功率器件的源极导电区和栅极导电区。本方案采用简单且低成本的制备方法即可制备栅极和源极交叠面积小的屏蔽栅功率器件。

天眼查资料显示，南京芯干线科技有限公司，成立于2020年，位于南京市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本211.8227万人民币。通过天眼查大数据分析，南京芯干线科技有限公司共对外投资了5家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息66条，此外企业还拥有行政许可17个。

本文源自金融界